特種氣體分類:電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,目前,我國(guó)電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達(dá)國(guó)家相比,尚有較大差距;特種氣體的重要性:正是因?yàn)殡娮託怏w在集成電路制造中的使用量大,應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測(cè)等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。
特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用:特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導(dǎo)體的“源”,主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。特種氣體從應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)看,主要包括電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過(guò)程,是下游的行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料,被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“血液”。我國(guó)特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段,廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,
特種氣體分類:高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純 度的氣體,對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域;電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路,應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏,長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次,并做記錄。